Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM-6900
Растровый электронный микроскоп с вольфрамовым катодом
Техническое описание
KYKY ЕМ6900 – это оптимальное решение для проведения СЭМ исследований металлов, керамики, полупроводников, полимеров, а также множество других образцов. Электронный микроскоп KYKY EM6900 оснащен вольфрамовым нитевым катодом, большим столиком образцов для возможности работы с габаритными материалами, а также обладает широкими возможностями модернизации.
Сканирующий электронный микроскоп KYKY EM6900 имеет высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (secondary electrons) с встроенной системой защиты, а также детектор обратно отраженных электронов (BSE) четырехсегментного типа для лучшего картирования образца. Управление электронным микроскопом KYKY EM6900 осуществляется с помощью ПК под управлением автоматизированного ПО. Встроенный в ПО модуль обработки изображений позволяет не только производить анализ поверхности и свойств образца, но также позволяет проводить гранулярные исследования, анализировать шероховатость образца и множество других параметров.
Технические характеристики растрового электронного микроскопа KYKY EM-6900
|
Технические характеристики термоэмиссионного СЭМ с вольфрамовым катодом KYKY EM6900 |
||
|
Разрешение |
3нм@30кВ (SE) / 6нм@30кВ (BSE) |
|
|
Увеличение |
Инвертированное увеличение: 8x – 300 000x Экранное увеличение: 16x – 600 000x |
|
|
Тип |
с вольфрамовым катодом |
|
|
Ток пучка |
10pA~0.1µA |
|
|
Ускоряющее напряжение |
0.2 – 30 кВ |
|
|
Оптика |
Электромагнитная линза в сборе (конический тип) |
|
|
Диафрагма объектива |
Молибденовое (с возможностью регулировки) |
|
|
Вакуумная система |
Турбомолекулярный, ротационный насос |
|
|
Детектор |
Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE (с защитой детектора). Полупроводниковый четырехсегментный детектор обратно отражённых электронов (BSE) |
|
|
Столик |
Пятиосевой |
|
|
Диапазон перемещений |
X (авто) |
0 – 70 мм |
|
Y (авто) |
0 – 50 мм |
|
|
Z (авто) |
0 – 45 мм |
|
|
R (авто) |
360 градусов |
|
|
T (ручной) |
-5 – +90 градусов |
|
|
Макс. размер образца |
175 мм |
|
|
Опции |
CCD, LAB, X-Ray Detector (EDS) , EBSD, CL, WDS, установка напыления и др. |
|
|
Модификации |
Апгрейд столика, EBL, STM, AFM, нагревательный столик, крио столик, столик для растягивания образцов, микро-нано манипулятор, SEM+системы напыления, SEM+лазер. |
|