Оптический профилометр SURFIEW

Сканирующий интерферометр белого света (оптический профилометр)

Image

Техническое описание

SURFIEW – это серия приборов, используемая для бесконтактного измерения изменений высоты поверхности с большой точностью в производстве и на R&D предприятиях (микроэлектроника, научные лаборатории, ВУЗы, производство электроники, оптики и др.). Приборы линейки SURFIEW основаны на принципе оптической профилометрии и позволяют производить полноценную оценку текстуры поверхности, включая замер шероховатости образца, оценку кривизны поверхности, толщины пленок и многое другое. Оптическая профилометрия, основанная на отражении светового сигнала от поверхности, позволяет измерять топографию поверхности, достигая субнанометрового разрешения по вертикали (z ось).

Оптические профилометры линейки SURFIEW позволяют измерить поверхность образца в диапазонах от нескольких десятков мкм² до нескольких мм². Измеряемый участок: от 1 нм до 10 мм, вертикальное z разрешение – вплоть до 0.1 нм. Оборудование относится к приборам неразрушающего контроля и позволяет производить измерения образца без модификации поверхности (например, в сравнении с АСМ и РЭМ методиками, где поверхность образца повреждается в результате сканирования или при предварительной пробоподготовке), причём z разрешение профилометров SURFIEW не зависит от увеличения объектива, как например, в конфокальных методах. Прибор позволяет исследовать такие материалы, как полимеры, биологические образцы, порошки, металлы, стекла и многое другое.

Технические характеристики оптического профилометра SURFIEW

   
Вертикальное разрешение VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм
Горизонтальное разрешение 0.03 – 7.2 мкм (в зависимости от увеличения и камеры)
Воспроизводимость измерения высоты ≤ 0.1% при 1σ
Скорость сканирования 8 – 40 мкм/сек
Метод сканирования Пьезопривод, закрытый цикл
Диапазон сканирования ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм или мотор. ≤ 10 мм опция)
Объектив До 5 (автоматизированная турель)
Изображающая линза До 2 (автоматизированная турель)
Сенсор камеры 1/2”, одноцветная (2/3”, 1” – опция)
Подсветка Белый LED
Фильтр 2 шт. (автоматическая смена)
Автофокусировка Да
Программное сшивание Да
Отражательная способность образца 0.05 – 100%
Максимальный вес образца ≤ 10 кг
Диапазон перемещения предметного столика 100 × 100 мм, автоматическое перемещение
Диапазон перемещения сканирующей головки 100 мм (автоматическое)
Наклон столика ± 6°, ручное перемещение
Размеры предметного столика 230 × 230 мм
Виброизоляция Пассивный тип (вертикальный резонанс 1.5 Гц)
Общий вес системы 45 кг
Напряжение питания 110 В / 220 В (± 10%), 15 А, 50/60 Гц
Программное обеспечение Surface View / Surface Map (Windows 10)
Комплектация системы ·         Оптический 3D профилометр ·         Стол с интегрированной системой пассивной вибророзащиты ·         Управляющий компьютер с монитором 27” ·         Программного обеспечение оператора для управления профилометром на английском языке. ·         Пакет для обработки данных и расчета стандартных параметров (ISO).
  Опциональные приборы  
Интерферометрические объективы 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х
Объективы 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х
Изображающие линзы 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х
Предметный столик Вращающийся вакуумный столик
Эталонные образцы Стандарт высоты Стандарт ширины Стандарт шероховатости
Управление Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками
ИБП On-line тип, 3000 ВА, питание ПК и профилометра