Сканирующий интерферометр белого света (оптический профилометр)
SURFIEW – это серия приборов, используемая для бесконтактного измерения изменений высоты поверхности с большой точностью в производстве и на R&D предприятиях (микроэлектроника, научные лаборатории, ВУЗы, производство электроники, оптики и др.). Приборы линейки SURFIEW основаны на принципе оптической профилометрии и позволяют производить полноценную оценку текстуры поверхности, включая замер шероховатости образца, оценку кривизны поверхности, толщины пленок и многое другое. Оптическая профилометрия, основанная на отражении светового сигнала от поверхности, позволяет измерять топографию поверхности, достигая субнанометрового разрешения по вертикали (z ось).
Оптические профилометры линейки SURFIEW позволяют измерить поверхность образца в диапазонах от нескольких десятков мкм² до нескольких мм². Измеряемый участок: от 1 нм до 10 мм, вертикальное z разрешение – вплоть до 0.1 нм. Оборудование относится к приборам неразрушающего контроля и позволяет производить измерения образца без модификации поверхности (например, в сравнении с АСМ и РЭМ методиками, где поверхность образца повреждается в результате сканирования или при предварительной пробоподготовке), причём z разрешение профилометров SURFIEW не зависит от увеличения объектива, как например, в конфокальных методах. Прибор позволяет исследовать такие материалы, как полимеры, биологические образцы, порошки, металлы, стекла и многое другое.
Вертикальное разрешение | VSI/VEI < 0.5 нм, VPI < 0.1 нм |
Горизонтальное разрешение | 0.03 – 7.2 мкм (в зависимости от увеличения и камеры) |
Воспроизводимость измерения высоты | ≤ 0.1% при 1σ |
Скорость сканирования | 8 – 40 мкм/сек |
Метод сканирования | Пьезопривод, закрытый цикл |
Диапазон сканирования | ≤ 150 мкм (пьезо ≤ 300 мкм или мотор. ≤ 10 мм опция) |
Объектив | До 5 (автоматизированная турель) |
Изображающая линза | До 2 (автоматизированная турель) |
Сенсор камеры | 1/2”, одноцветная (2/3”, 1” – опция) |
Подсветка | Белый LED |
Фильтр | 2 шт. (автоматическая смена) |
Автофокусировка | Да |
Программное сшивание | Да |
Отражательная способность образца | 0.05 – 100% |
Максимальный вес образца | ≤ 10 кг |
Диапазон перемещения предметного столика | 100 × 100 мм, автоматическое перемещение |
Диапазон перемещения сканирующей головки | 100 мм (автоматическое) |
Наклон столика | ± 6°, ручное перемещение |
Размеры предметного столика | 230 × 230 мм |
Виброизоляция | Пассивный тип (вертикальный резонанс 1.5 Гц) |
Общий вес системы | 45 кг |
Напряжение питания | 110 В / 220 В (± 10%), 15 А, 50/60 Гц |
Программное обеспечение | Surface View / Surface Map (Windows 10) |
Комплектация системы | · Оптический 3D профилометр · Стол с интегрированной системой пассивной вибророзащиты · Управляющий компьютер с монитором 27” · Программного обеспечение оператора для управления профилометром на английском языке. · Пакет для обработки данных и расчета стандартных параметров (ISO). |
Интерферометрические объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Объективы | 2.5Х, 5Х, 10Х, 20Х, 50Х, 100Х |
Изображающие линзы | 0.55Х, 0.75Х, 1Х, 1.5Х, 2Х |
Предметный столик | Вращающийся вакуумный столик |
Эталонные образцы | Стандарт высоты Стандарт ширины Стандарт шероховатости |
Управление | Многопозиционный джойстик с программируемыми кнопками |
ИБП | On-line тип, 3000 ВА, питание ПК и профилометра |